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潔淨室必測三大項目
日期:2025-05-07 12:17
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摘要:
潔淨室必測三大項目
【提要】提要:潔淨室有較多的測試項目,如正負壓,菌落數,溫濕度,塵粒數,噪音,振動等等。這些測試項目可根據產品生產要求來合理對潔淨室進行檢測,這樣既保證產品質量,又可節省費用。故在潔淨室測試時必要檢測的三個項目在下麵以供參考。
檢測項目 | 常用儀器 | 檢測、要求、方法 | 數據整理 | 合格標準 | |
風 量 | 係統總風量 | 熱球式電風速儀或比托管 | 用風管法測量,風管截麵分成等麵積區域,多點測定,每個小麵積不大於0.05m2(方管小麵積邊長 ≤200mm)要注意選穩定管段,前5倍後3倍。 | 多點風速的算術平均值X截麵麵積 | 設計風量100%--120% |
係統新風量 | 設計風量±10% | ||||
非單向流 各室送風量 | 熱球式風速儀 | 用風口法:加輔助套筒,按風管法分區測量風速。 | 平均風速X套角麵積,多個風口之和 | 設計風量±15% | |
單向流 風速和風量 | 同上 | 橫截麵積X平均風速,橫截麵距送風麵0.3m,布點間距≤0.6m,*少5測點 | 多點算術平均值X橫截麵積 | 0.3~0.5(1-4級)0.2~0.5(5級) | |
靜 壓差 | 靜壓差 | 傾斜式微壓計,精密指針式微壓計,*小可測1Pa | 關門、測壓管通過口儘量密封、管口避開氣流,隻測一個點。 | 直接記錄 | 級彆不同的鄰室之間≥5Pa 潔淨區→非潔區≤10Pa |
平行流附加 | 粒子計數器 | 打開與低級彆相通的門,在門中0.6m處工作麵測潔淨度。 | 參照潔淨度測法 | 應不大於該級彆上限值 | |
潔淨度 | 白熾光粒子計數器,激光粒子計數器。 | 布點≥房間麵積1/2采樣量:在該級彆上限值數字下,采夠20個。 人員:穿潔淨服≤2人進入。 | 10點以上取算術平均值 10點以下要算標準偏差及置信度 | 在事先約定狀態下,不超過其級彆上限值 |