洁净室与静电

日期：2025-04-29 14:10

浏览次数：5115

摘要：

洁净室与静电

（1）洁净室
半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要洁净的生产车间，通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小，洁净度便越高。

（2）洁净室的静电
由于洁净室的洁净度要求，室内使用
①大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。
光刻间塑料地面500V~1000V，扩散间塑料地面500V~1500V，瓷砖地面也有500V~1500V，塑料墙纸700V，塑料顶棚OV~1000V，金属活动皮芏椅面500V~3000V。
②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。
人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带7000V~8000V静电压。
在乙烯基地板上行走可带1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH），在地毯上行走可带35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH），晶片装配线，人穿的工作服可达10KV。
③空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口气流是带静电的。
铝板送风口、回风口500~1000V。
④大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配生产线：晶片装料盒35KV，有机玻璃盖8KV，石英制品1.5KV，晶片托盘6KV，丙烯酸脂盖20KV，台桌面10KV，塑料存贮柜30KV，玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。
总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。

下一篇：洁净技术与设备的发展和应用趋势
上一篇：洁净室内湿度控制的必要性