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洁净室必测三大项目

日期：2025-06-15 16:32
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摘要：
洁净室必测三大项目
 
【提要】提要：洁净室有较多的测试项目，如正负压，菌落数，温湿度，尘粒数，噪音，振动等等。这些测试项目可根据产品生产要求来合理对洁净室进行检测，这样既保证产品质量，又可节省费用。故在洁净室测试时必要检测的三个项目在下面以供参考。
检测项目
常用仪器
检测、要求、方法
数据整理
合格标准
风
量
系统总风量
热球式电风速仪或比托管
用风管法测量，风管截面分成等面积区域，多点测定，每个小面积不大于0.05m2(方管小面积边长
≤200mm)要注意选稳定管段,前5倍后3倍。
多点风速的算术平均值X截面面积
设计风量100%--120%
系统新风量
设计风量±10%
非单向流
各室送风量
热球式风速仪
用风口法：加辅助套筒，按风管法分区测量风速。
平均风速X套角面积，多个风口之和
设计风量±15%
单向流
风速和风量
同上
横截面积X平均风速，横截面距送风面0.3m，布点间距≤0.6m，*少5测点
多点算术平均值X横截面积
0.3~0.5(1-4级)0.2~0.5(5级)
静
压差
静压差
倾斜式微压计，精密指针式微压计，*小可测1Pa
关门、测压管通过口尽量密封、管口避开气流，只测一个点。
直接记录
级别不同的邻室之间≥5Pa
洁净区→非洁区≤10Pa
平行流附加
粒子计数器
打开与低级别相通的门，在门中0.6m处工作面测洁净度。
参照洁净度测法
应不大于该级别上限值
洁净度
白炽光粒子计数器，激光粒子计数器。
布点≥房间面积1/2采样量：在该级别上限值数字下，采够20个。
人员：穿洁净服≤2人进入。
10点以上取算术平均值
10点以下要算标准偏差及置信度
在事先约定状态下,不超过其级别上限值
 
 
 
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